Няколко несъбрани частици или газови молекули могат да имат изключително сериозни последствия в някои процеси. Само си представете каква вреда може да причини замърсеният въздух на производството на полупроводници, твърди дискове и други изключително чувствителни процеси.
В производството на полупроводници, предните усъвършенствани производствени методи изискват подаване на много чист въздух с постоянно нарастващи изисквания за чистота. Критичният размер на частиците за средата на вафлите сега е под 25 nm (2009 г.) и се правят прогнози, че този размер ще продължи да се свива до 10 nm до 2017 г. Молекулното замърсяване във въздуха (AMC) сега е основен проблем за всички модерни микроелектронни фабрики. Наблюдавани са широк спектър от AMC ефекти, влияещи върху добива на продукцията. Например киселинната корозия на твърди дискове или вафли, кондензируемото органично отлагане върху чувствителни повърхности или излагането на ниски нива на амоняк са показали, че засягат различни етапи на процеса.
Сърцето на чистата стая са нейните филтри, но има редица съображения относно класификацията на помещенията, избора на филтър и как филтрите влияят на околната среда.
SAF е в добра позиция да препоръча най-доброто решение за усъвършенстван контрол на частици и AMC благодарение на повече от 16 години опит в областта на микроелектрониката и контрола на замърсяването на полупроводниците и чрез нашето участие в Международната технологична пътна карта за полупроводници.
HEPA, ULPA и молекулярните филтри се произвеждат в контролирана среда в сертифицирани по ISO 9000 заводи на SAF. Ние можем да произвеждаме един и същи тип филтри в множество производствени обекти. Нашият голям производствен капацитет гарантира наличността на нашите продукти по всяко време в целия свят.
Защита:
-
Вафли и полупроводници
-
Микроелектронни технологични съоръжения
-
Твърди дискове
-
Печатни платки
-
Дисплеи с плосък панел
-
Слънчеви панели